| 機型Model
No.: HK-Z-1-A |
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| 工作台尺寸Table size： |
1000x230 |
| X 軸行程X axis： |
450 |
| Y 軸行程Y axis： |
250 |
| Z 軸行程Z axis： |
270 |
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| 機型Model
No.: HK-Z-1-SA-A |
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| 工作台尺寸Table size： |
1000x230 |
| X 軸行程X axis： |
450 |
| Y 軸行程Y axis： |
250 |
| Z 軸行程Z axis： |
270 |
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機型Model
No.:單軸晶圓切割
Single Shaft Wafer Cutting |
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| 工作台尺寸Table size： |
1000x230 |
| X 軸行程X axis： |
450 |
| Y 軸行程Y axis： |
250 |
| Z 軸行程Z axis： |
270 |
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